千級潔凈室案例簡介：

承接單位：上海磊建凈化

潔凈等級：千級、 百級

工程定位：浙江***半導體材料有限公司

　　潔凈室平面布局：

　　潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。

　　潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式：

　　外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內(nèi)設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

　　內(nèi)廊式：潔凈室設在外圍，而走廊設在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和潔凈室同級。

　　兩端式：潔凈區(qū)設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房。

　　核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能

潔凈室裝修實拍

　　潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設計之房間。

　　潔凈室的空氣潔凈度，進行下列測試：

　　空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進行測試。

　　靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。

　　動態(tài)測試：潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。無塵室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。

　　千級潔凈室潔凈度：

　　將不大于0.5微米粒徑的塵埃粒子數(shù)量控制在每立方米3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

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