半導(dǎo)體潔凈室工程案例簡介：

潔凈等級：百級、千級

承接單位：上海磊建凈化

案例定位：上海***微電子科技有限公司

一般在百級-萬級的半導(dǎo)體潔凈室平面裝修方案中，磊建凈化設(shè)計師都會依據(jù)人流和物流凈化流向來精確規(guī)劃布局平面。

　　工作人員的凈化路線為：

　　入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風(fēng)淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。

　　物品的凈化路線為:

　　入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。

　　依據(jù)以上流向設(shè)計各潔凈區(qū)和輔助區(qū)的布局，再結(jié)合各個不同工序的潔凈室要求的空氣潔凈度，盡可能將污染的概率和對器件的潛在故障不良因素壓到最低。

　　潔凈室裝修實拍

　半導(dǎo)體百級潔凈室裝修工段區(qū)域需要做到密封的狀態(tài)，潔凈室需維持一定的正壓，保證潔凈室不受污染或少受污染，以維持其潔凈度。磊建凈化設(shè)計師一般會經(jīng)過大量的冷熱負(fù)荷計算、風(fēng)量平衡計算等，合理的工程設(shè)計、優(yōu)化，工程安裝、調(diào)試，來確保整個百級潔凈室凈化系統(tǒng)的正常運行。各工段根據(jù)潔凈室特性、凈化系統(tǒng)特性等選擇合適的送風(fēng)方式，不同的送風(fēng)方式各有利弊，實際操作中設(shè)計師會根據(jù)實際需求進(jìn)行氣流組織設(shè)計。

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